Chip ishlab chiqarish sanoatida chipning rentabelligi chipga yotqizilgan havo zarralarining hajmi va soni bilan chambarchas bog'liq.Havo oqimining yaxshi tashkil etilishi chang manbalaridan hosil bo'lgan zarralarni toza xonadan uzoqlashtirishi va toza xonaning tozaligini ta'minlashi mumkin.Ya'ni, toza xonada havo oqimini tashkil qilish chip ishlab chiqarish rentabelligida muhim rol o'ynaydi.Toza xonadagi havo oqimini tashkil etishni loyihalashda erishilishi kerak bo'lgan maqsadlar quyidagilardir: zararli zarralarni ushlab turmaslik uchun oqim maydonidagi girdab oqimlarini kamaytirish yoki yo'q qilish;o'zaro kontaminatsiyani oldini olish uchun tegishli ijobiy bosim gradientini saqlab qolish.
Toza xona printsipiga ko'ra, zarrachalarga ta'sir qiluvchi kuchlar massa kuchi, molekulyar kuch, zarralar orasidagi tortishish, havo oqimi kuchi va boshqalarni o'z ichiga oladi.
Havo oqimi kuchi: etkazib berish va qaytarish havo oqimi, termal konvektsiya havo oqimi, sun'iy qo'zg'alish va zarrachalarni tashish uchun ma'lum bir oqim tezligi bilan boshqa havo oqimlari natijasida kelib chiqadigan havo oqimining kuchini anglatadi.Toza xonaning ekologik texnologiyasini nazorat qilish uchun havo oqimi kuchi eng muhim omil hisoblanadi.
Tajribalar shuni ko'rsatdiki, havo oqimi harakatida zarralar havo oqimini deyarli bir xil tezlikda kuzatib boradi.Havodagi zarrachalarning holati havo oqimining taqsimlanishi bilan belgilanadi.Havo oqimining ichki zarrachalarga asosiy ta'siri quyidagilardan iborat: havo bilan ta'minlovchi havo oqimi (shu jumladan birlamchi havo oqimi va ikkilamchi havo oqimi), havo oqimi va odamlarning yurishi natijasida kelib chiqadigan termal konveksiya havo oqimi va texnologik operatsiyalar va sanoat uskunalari tufayli havo oqimining zarrachalarga ta'siri.Toza xonalarda havo etkazib berishning turli usullari, tezlik interfeyslari, operatorlar va sanoat uskunalari, induktsiya hodisalari va boshqalar tozalik darajasiga ta'sir qiluvchi omillardir.
1. Havo ta'minoti usulining ta'siri
(1) Havo ta'minoti tezligi
Bir xil havo oqimini ta'minlash uchun bir yo'nalishli oqim toza xonada havo etkazib berish tezligi bir xil bo'lishi kerak;havo ta'minoti yuzasida o'lik zona kichik bo'lishi kerak;va hepa filtri ichidagi bosimning pasayishi ham bir xil bo'lishi kerak.
Havo ta'minoti tezligi bir xil: ya'ni havo oqimining notekisligi ± 20% ichida nazorat qilinadi.
Havo ta'minoti yuzasida kamroq o'lik joy mavjud: nafaqat gepa ramkasining tekislik maydonini qisqartirish kerak, balki undan ham muhimi, ortiqcha ramkani soddalashtirish uchun modulli FFU dan foydalanish kerak.
Havo oqimining vertikal va bir yo'nalishli bo'lishini ta'minlash uchun filtrning bosim tushishini tanlash ham juda muhim va filtr ichidagi bosimning yo'qolishi noto'g'ri bo'lishi kerak.
(2) FFU tizimi va eksenel oqim fan tizimi o'rtasidagi taqqoslash
FFU - bu fan va gepa filtrli havo ta'minoti birligi.Havo FFUning markazdan qochma fan tomonidan so'riladi va dinamik bosimni havo kanalidagi statik bosimga aylantiradi.U gepa filtri orqali teng ravishda puflanadi.Shiftdagi havo ta'minoti bosimi salbiy bosimdir.Shunday qilib, filtrni almashtirishda toza xonaga chang oqmaydi.Tajribalar shuni ko'rsatdiki, FFU tizimi havo chiqishining bir xilligi, havo oqimining parallelligi va ventilyatsiya samaradorligi indeksi bo'yicha eksenel oqim fan tizimidan ustundir.Buning sababi, FFU tizimining havo oqimining parallelligi yaxshiroq.FFU tizimidan foydalanish toza xonada havo oqimini tashkil qilishni yaxshilashi mumkin.
(3) FFUning o'z tuzilishining ta'siri
FFU asosan fanatlar, filtrlar, havo oqimi yo'riqnomalari va boshqa komponentlardan iborat.Gepa filtri toza xona uchun dizayn tomonidan talab qilinadigan tozalikka erishish uchun eng muhim kafolatdir.Filtrning materiali oqim maydonining bir xilligiga ham ta'sir qiladi.Filtrni chiqarish joyiga qo'pol filtr materiali yoki oqim plitasi qo'shilsa, chiqish oqimi maydoni osongina bir xil bo'lishi mumkin.
2. Turli xil tozalik bilan tezkor interfeysning ta'siri
Xuddi shu toza xonada, vertikal bir yo'nalishli oqim bilan ishlaydigan va ishlamaydigan maydon o'rtasida, hepa qutisidagi havo tezligining farqi tufayli interfeysda aralash vorteks effekti paydo bo'ladi va bu interfeys turbulent bo'ladi. havo oqimi zonasi.Havoning turbulentligining intensivligi ayniqsa kuchli bo'lib, zarrachalar asbob-uskunalar mashinasining yuzasiga uzatilishi va jihozlar va gofretlarni ifloslantirishi mumkin.
3. Xodimlar va jihozlarga ta'siri
Toza xona bo'sh bo'lsa, xonadagi havo oqimining xususiyatlari odatda dizayn talablariga javob beradi.Uskunalar toza xonaga kirgandan so'ng, odamlar harakatlanadi va mahsulotlar tashiladi, havo oqimini tashkil qilishda muqarrar ravishda to'siqlar mavjud, masalan, uskuna mashinasidan chiqib ketadigan o'tkir nuqtalar.Burchaklarda yoki chekkalarda gaz turbulent oqim maydonini hosil qilish uchun yo'naltiriladi va bu hududdagi suyuqlik kiruvchi gaz tomonidan osonlikcha olib ketilmaydi, shuning uchun ifloslanishni keltirib chiqaradi.
Shu bilan birga, mexanik uskunaning yuzasi uzluksiz ishlash tufayli isitiladi va harorat gradienti mashina yaqinida qayta oqim maydonini keltirib chiqaradi, bu esa qayta oqim maydonida zarrachalarning to'planishini oshiradi.Shu bilan birga, yuqori harorat zarrachalarning osongina chiqib ketishiga olib keladi.Ikki tomonlama ta'sir umumiy vertikal qatlamni kuchaytiradi.Oqim tozaligini nazorat qilishning qiyinligi.Toza xonadagi operatorlarning changlari ushbu qayta oqim joylarida gofretlarga osongina yopishishi mumkin.
4. Qaytish havosi qavatining ta'siri
Zamindan o'tadigan qaytib havoning qarshiligi boshqacha bo'lsa, bosim farqi paydo bo'lib, havo kichik qarshilik yo'nalishi bo'yicha oqadi va bir xil havo oqimi olinmaydi.Hozirgi mashhur dizayn usuli - baland qavatdan foydalanish.Ko'tarilgan qavatning ochilish nisbati 10% bo'lsa, havo oqimi tezligi ichki ish balandligida teng ravishda taqsimlanishi mumkin.Bundan tashqari, poldagi ifloslanish manbasini kamaytirish uchun tozalash ishlariga qat'iy e'tibor qaratish lozim.
5. Induksiya hodisasi
Induksiya hodisasi deb ataladigan narsa havo oqimini bir xil oqimga qarama-qarshi yo'nalishda hosil qilish, xonada hosil bo'lgan chang yoki qo'shni ifloslangan joylarda changni shamolga qarshi tomonga induktsiyalash va shu bilan changning gofretni ifloslanishiga olib keladigan hodisani anglatadi.Mumkin bo'lgan induktsiya hodisalariga quyidagilar kiradi:
(1) Ko'r plita
Vertikal bir tomonlama oqimga ega toza xonada, devordagi bo'g'inlar tufayli, odatda, turbulent oqim va mahalliy teskari oqim hosil qiladigan katta ko'r panellar mavjud.
(2) Yoritgichlar
Toza xonada yoritish moslamalari ko'proq ta'sir qiladi.Floresan chiroqning issiqligi havo oqimining ko'tarilishiga olib kelganligi sababli, lyuminestsent chiroq turbulent hududga aylanmaydi.Odatda, toza xonadagi lampalar havo oqimini tashkil qilishda lampalarning ta'sirini kamaytirish uchun ko'z yoshi shaklida ishlab chiqilgan.
(3) devorlar orasidagi bo'shliqlar
Turli xil tozalik talablari bo'lgan devorlar yoki shiftlar o'rtasida bo'shliqlar mavjud bo'lganda, past tozalik talablari bo'lgan joylardan chang yuqori tozalik talablari bo'lgan qo'shni hududlarga o'tkazilishi mumkin.
(4) Mexanik uskunalar va zamin yoki devor orasidagi masofa
Mexanik jihozlar va zamin yoki devor orasidagi bo'shliq kichik bo'lsa, rebound turbulentlik paydo bo'ladi.Shuning uchun, uskuna va devor orasidagi bo'shliqni qoldiring va erga to'g'ridan-to'g'ri tegmaslik uchun mashina platformasini ko'taring.
Yuborilgan vaqt: 2023 yil 2-noyabr