Chip ishlab chiqarish sanoatida chip hosil bo'lishi chipga tushadigan havo zarrachalarining hajmi va soni bilan chambarchas bog'liq. Havo oqimini yaxshi tashkil etish chang manbalaridan hosil bo'lgan zarrachalarni toza xonadan olib ketishi va toza xonaning tozaligini ta'minlashi mumkin. Ya'ni, toza xonada havo oqimini tashkil etish chip ishlab chiqarish hosildorligida muhim rol o'ynaydi. Toza xona havo oqimini tashkil qilishni loyihalashda erishilishi kerak bo'lgan maqsadlar quyidagilardir: zararli zarrachalarni ushlab qolishning oldini olish uchun oqim maydonidagi quyuq oqimlarni kamaytirish yoki yo'q qilish; o'zaro ifloslanishning oldini olish uchun tegishli musbat bosim gradiyentini saqlab qolish.
Toza xona printsipiga ko'ra, zarrachalarga ta'sir qiluvchi kuchlar massa kuchi, molekulyar kuch, zarrachalar orasidagi tortishish kuchi, havo oqimi kuchi va boshqalarni o'z ichiga oladi.
Havo oqimi kuchi: ta'minot va qaytarish havo oqimi, termal konveksiya havo oqimi, sun'iy aralashtirish va zarrachalarni tashish uchun ma'lum bir oqim tezligiga ega bo'lgan boshqa havo oqimlari natijasida hosil bo'lgan havo oqimi kuchini anglatadi. Toza xona atrof-muhit texnologiyasini boshqarish uchun havo oqimi kuchi eng muhim omil hisoblanadi.
Tajribalar shuni ko'rsatdiki, havo oqimi harakatida zarrachalar havo oqimini deyarli bir xil tezlikda kuzatib boradi. Havodagi zarrachalarning holati havo oqimining taqsimlanishi bilan belgilanadi. Havo oqimining ichki zarrachalarga asosiy ta'siri quyidagilarni o'z ichiga oladi: havo ta'minoti havo oqimi (birlamchi havo oqimi va ikkilamchi havo oqimini o'z ichiga olgan holda), odamlarning yurishi natijasida yuzaga keladigan havo oqimi va termal konveksiya havo oqimi hamda havo oqimining texnologik operatsiyalar va sanoat uskunalari natijasida yuzaga keladigan zarrachalarga ta'siri. Toza xonalardagi turli xil havo ta'minoti usullari, tezlik interfeyslari, operatorlar va sanoat uskunalari, induktsiyalangan hodisalar va boshqalar tozalik darajasiga ta'sir qiluvchi omillardir.
1. Havo ta'minoti usulining ta'siri
(1) Havo ta'minoti tezligi
Havo oqimining bir xil bo'lishini ta'minlash uchun bir tomonlama oqimli toza xonada havo ta'minoti tezligi bir xil bo'lishi kerak; havo ta'minoti yuzasidagi o'lik zona kichik bo'lishi kerak; va HEPA filtridagi bosim pasayishi ham bir xil bo'lishi kerak.
Havo ta'minoti tezligi bir xil: ya'ni havo oqimining notekisligi ±20% ichida boshqariladi.
Havo ta'minoti yuzasida o'lik joy kamroq bo'ladi: nafaqat HEPA ramkasining tekislik maydonini kamaytirish kerak, balki eng muhimi, ortiqcha ramkani soddalashtirish uchun modulli FFU dan foydalanish kerak.
Havo oqimi vertikal va bir tomonlama bo'lishini ta'minlash uchun filtrning bosim pasayishini tanlash ham juda muhim va filtr ichidagi bosim yo'qotilishini bir tomonlama qilib bo'lmasligi kerak.
(2) FFU tizimi va eksenel oqimli fan tizimini taqqoslash
FFU - bu ventilyator va HEPA filtriga ega havo ta'minoti bloki. Havo FFUning santrifüj ventilyatori tomonidan so'riladi va dinamik bosimni havo kanalidagi statik bosimga aylantiradi. U HEPA filtri tomonidan teng ravishda puflanadi. Shiftdagi havo ta'minoti bosimi manfiy bosimdir. Shu tarzda filtrni almashtirishda toza xonaga chang kirmaydi. Tajribalar shuni ko'rsatdiki, FFU tizimi havo chiqish bir xilligi, havo oqimi parallelligi va shamollatish samaradorligi indeksi jihatidan eksenel oqim ventilyatori tizimidan ustundir. Buning sababi, FFU tizimining havo oqimi parallelligi yaxshiroqdir. FFU tizimidan foydalanish toza xonada havo oqimini tashkil qilishni yaxshilashi mumkin.
(3) FFUning o'z tuzilishining ta'siri
FFU asosan ventilyatorlar, filtrlar, havo oqimi yo'riqnomalari va boshqa komponentlardan iborat. HEPA filtri xonani toza saqlash uchun dizayn talab qiladigan tozalikka erishishning eng muhim kafolatidir. Filtr materiali ham oqim maydonining bir xilligiga ta'sir qiladi. Filtr chiqish joyiga qo'pol filtr materiali yoki oqim plitasi qo'shilganda, chiqish oqimi maydoni osongina bir xil bo'lishi mumkin.
2. Tezlik interfeysining turli xil tozalik bilan ta'siri
Xuddi shu toza xonada, ish maydoni va vertikal bir tomonlama oqimga ega ishlamaydigan maydon o'rtasida, HEPA qutisidagi havo tezligidagi farq tufayli, interfeysda aralash girdob effekti paydo bo'ladi va bu interfeys turbulent havo oqimi zonasiga aylanadi. Havo turbulentligining intensivligi ayniqsa kuchli va zarrachalar uskunalar mashinasining yuzasiga o'tishi va uskunalar va plastinalarni ifloslantirishi mumkin.
3. Xodimlar va uskunalarga ta'siri
Toza xona bo'sh bo'lganda, xonadagi havo oqimi xususiyatlari odatda dizayn talablariga javob beradi. Uskunalar toza xonaga kirgandan, odamlar harakatlangandan va mahsulotlar tashilgandan so'ng, havo oqimini tashkil qilishda muqarrar ravishda to'siqlar paydo bo'ladi, masalan, uskuna mashinasidan chiqib turgan o'tkir uchlar. Burchaklarda yoki chekkalarda gaz turbulent oqim maydonini hosil qilish uchun yo'naltiriladi va bu hududdagi suyuqlik kiruvchi gaz tomonidan osongina olib ketilmaydi va shu bilan ifloslanishga olib keladi.
Shu bilan birga, mexanik uskunaning yuzasi uzluksiz ishlash tufayli qiziydi va harorat gradiyenti mashina yaqinida qayta oqim maydonini hosil qiladi, bu esa qayta oqim maydonida zarrachalar to'planishini oshiradi. Shu bilan birga, yuqori harorat zarrachalarning osongina chiqib ketishiga olib keladi. Ikki tomonlama effekt umumiy vertikal qatlamni kuchaytiradi. Oqim tozaligini nazorat qilishning qiyinligi. Toza xonadagi operatorlarning changi bu qayta oqim joylaridagi plastinalarga osongina yopishishi mumkin.
4. Qaytuvchi havo polining ta'siri
Poldan o'tadigan qaytib havoning qarshiligi boshqacha bo'lganda, bosim farqi paydo bo'ladi, bu esa havoning kichik qarshilik yo'nalishi bo'yicha oqishiga olib keladi va bir xil havo oqimiga erishilmaydi. Hozirgi kunda mashhur dizayn usuli baland poldan foydalanishdir. Yuqori polning ochilish nisbati 10% bo'lganda, havo oqimi tezligi ichki ish balandligida teng taqsimlanishi mumkin. Bundan tashqari, poldagi ifloslanish manbasini kamaytirish uchun tozalash ishlariga qattiq e'tibor qaratish kerak.
5. Induksiya hodisasi
Induksiya hodisasi deb ataladigan narsa, bir xil oqimga teskari yo'nalishda havo oqimini hosil qilish, xonada yoki shamolga qarshi tomondagi qo'shni ifloslangan joylarda chang hosil qilish va shu bilan changning plastinkani ifloslanishiga olib keladigan hodisani anglatadi. Mumkin bo'lgan induksiyalangan hodisalar quyidagilarni o'z ichiga oladi:
(1) Ko'r plastinka
Vertikal bir tomonlama oqimga ega toza xonada, devordagi bo'g'inlar tufayli, odatda turbulent oqim va mahalliy teskari oqimni hosil qiladigan katta ko'r panellar mavjud.
(2) Yoritgichlar
Toza xonadagi yoritish moslamalari ko'proq ta'sir ko'rsatadi. Floresan lampaning isishi havo oqimining ko'tarilishiga olib kelganligi sababli, floresan lampa turbulent joyga aylanmaydi. Odatda, toza xonadagi lampalar lampalarning havo oqimini tashkil etishga ta'sirini kamaytirish uchun tomchi shaklida ishlab chiqilgan.
(3) Devorlar orasidagi bo'shliqlar
To'siq devorlari yoki shiftlar orasida turli xil tozalik talablari bo'lgan bo'shliqlar mavjud bo'lganda, tozalik talablari past bo'lgan joylardan chang yuqori tozalik talablari bo'lgan qo'shni joylarga o'tishi mumkin.
(4) Mexanik uskunalar va pol yoki devor orasidagi masofa
Agar mexanik uskunalar bilan pol yoki devor orasidagi bo'shliq kichik bo'lsa, teskari turbulentlik yuzaga keladi. Shuning uchun, uskunalar bilan devor o'rtasida bo'sh joy qoldiring va yer bilan to'g'ridan-to'g'ri aloqa qilmaslik uchun mashina platformasini ko'taring.
Joylashtirilgan vaqt: 2023-yil 2-noyabr