Atrof-muhitni muhofaza qilishga, ayniqsa tumanli ob-havoning kuchayishi bilan ko'proq e'tibor qaratilmoqda.Toza xona muhandisligi atrof-muhitni muhofaza qilish choralaridan biridir.Atrof-muhitni muhofaza qilishda yaxshi ish qilish uchun toza xona muhandisligidan qanday foydalanish kerak?Keling, toza xona muhandisligida nazorat haqida gapiraylik.
Toza xonada harorat va namlikni nazorat qilish
Toza joylarning harorati va namligi asosan texnologik talablar asosida aniqlanadi, ammo jarayon talablariga javob berganda, insonning qulayligini hisobga olish kerak.Havoning tozaligi talablarining yaxshilanishi bilan jarayonda harorat va namlik uchun qat'iy talablar tendentsiyasi mavjud.
Umumiy printsip sifatida, ishlov berishning aniqligi ortib borayotganligi sababli, harorat o'zgarishi diapazoniga qo'yiladigan talablar kichikroq va kichikroq bo'ladi.Masalan, keng ko'lamli integral mikrosxemalar ishlab chiqarishning litografiya va ta'sir qilish jarayonida niqob materiallari sifatida ishlatiladigan shisha va silikon gofretlar o'rtasidagi termal kengayish koeffitsientidagi farq tobora kichik bo'lib bormoqda.
Diametri 100 m m bo'lgan kremniy gofreti harorat 1 darajaga ko'tarilganda 0,24 m m chiziqli kengayishiga olib keladi.Shuning uchun ± 0,1 ℃ doimiy harorat kerak va namlik qiymati odatda past bo'ladi, chunki terlashdan keyin mahsulot ifloslanadi, ayniqsa natriydan qo'rqadigan yarimo'tkazgichli ustaxonalarda.Ushbu turdagi ustaxona 25 ℃ dan oshmasligi kerak.
Haddan tashqari namlik ko'proq muammolarni keltirib chiqaradi.Nisbiy namlik 55% dan oshganda, sovutish suvi quvurining devorida kondensatsiya hosil bo'ladi.Agar u nozik qurilmalarda yoki sxemalarda yuzaga kelsa, u turli xil baxtsiz hodisalarga olib kelishi mumkin.Nisbiy namlik 50% bo'lsa, zanglash oson.Bundan tashqari, namlik juda yuqori bo'lsa, kremniy gofret yuzasiga yopishgan chang havodagi suv molekulalari orqali sirtga kimyoviy adsorbsiyalanadi, uni olib tashlash qiyin.
Nisbiy namlik qanchalik yuqori bo'lsa, yopishqoqlikni olib tashlash shunchalik qiyin bo'ladi.Biroq, nisbiy namlik 30% dan past bo'lsa, elektrostatik kuch ta'sirida zarrachalar ham sirtga osongina adsorbsiyalanadi va ko'plab yarimo'tkazgichli qurilmalar parchalanishga moyil bo'ladi.Silikon gofret ishlab chiqarish uchun optimal harorat oralig'i 35-45% ni tashkil qiladi.
Havo bosimiboshqaruvtoza xonada
Ko'pgina toza joylar uchun tashqi ifloslanishning kirib kelishiga yo'l qo'ymaslik uchun ichki bosimni (statik bosim) tashqi bosimdan (statik bosim) yuqoriroq saqlash kerak.Bosim farqini saqlash odatda quyidagi printsiplarga muvofiq bo'lishi kerak:
1. Toza joylardagi bosim toza bo'lmagan joylardagi bosimdan yuqori bo'lishi kerak.
2. Tozalik darajasi yuqori bo'lgan joylarda bosim past tozalik darajasiga ega bo'lgan qo'shni bo'shliqlarga qaraganda yuqori bo'lishi kerak.
3. Toza xonalar orasidagi eshiklar tozalik darajasi yuqori bo'lgan xonalarga qarab ochilishi kerak.
Bosim farqining saqlanishi toza havo miqdoriga bog'liq bo'lib, bu bosim farqi ostida bo'shliqdan havo oqishini qoplash imkoniyatiga ega bo'lishi kerak.Shunday qilib, bosim farqining jismoniy ma'nosi toza xonadagi turli bo'shliqlar orqali oqish (yoki infiltratsiya) havo oqimining qarshiligidir.
Xabar vaqti: 21-iyul-2023-yil