IC ishlab chiqarish sanoatida chipning chiqish tezligi chipga tushadigan havo zarrachalarining hajmi va soni bilan chambarchas bog'liq. Yaxshi havo oqimini tashkil qilish chang manbai tomonidan hosil bo'lgan zarrachalarni toza xonadan olib chiqib, toza xonaning tozaligini ta'minlashi mumkin, ya'ni toza xonada havo oqimini tashkil qilish IC ishlab chiqarishning chiqish tezligida muhim rol o'ynaydi. Toza xonada havo oqimini tashkil qilishni loyihalash quyidagi maqsadlarga erishishi kerak: zararli zarrachalarning saqlanib qolishining oldini olish uchun oqim maydonidagi quyuq oqimni kamaytirish yoki yo'q qilish; o'zaro ifloslanishning oldini olish uchun tegishli musbat bosim gradiyentini saqlab qolish.
Havo oqimi kuchi
Toza xona printsipiga ko'ra, zarrachalarga ta'sir qiluvchi kuchlar massa kuchi, molekulyar kuch, zarrachalar orasidagi tortishish kuchi, havo oqimi kuchi va boshqalarni o'z ichiga oladi.
Havo oqimi kuchi: zarrachalarni tashish uchun ma'lum bir oqim tezligiga ega bo'lgan yetkazib berish, qaytarish havo oqimi, termal konveksiya havo oqimi, sun'iy aralashtirish va boshqa havo oqimlari natijasida hosil bo'lgan havo oqimi kuchini anglatadi. Toza xona muhitini texnik nazorat qilish uchun havo oqimi kuchi eng muhim omil hisoblanadi.
Tajribalar shuni ko'rsatdiki, havo oqimi harakatida zarrachalar havo oqimi harakatiga deyarli bir xil tezlikda ergashadi. Havodagi zarrachalarning holati havo oqimining taqsimlanishi bilan belgilanadi. Ichki zarrachalarga ta'sir qiluvchi havo oqimlari asosan quyidagilarni o'z ichiga oladi: havo ta'minoti havo oqimi (birlamchi havo oqimi va ikkilamchi havo oqimini o'z ichiga olgan holda), odamlarning yurishi natijasida hosil bo'lgan havo oqimi va termal konveksiya havo oqimi hamda jarayon operatsiyalari va sanoat uskunalari natijasida hosil bo'lgan havo oqimi. Turli xil havo ta'minoti usullari, tezlik interfeyslari, operatorlar va sanoat uskunalari hamda toza xonalardagi induktsiyalangan hodisalar tozalik darajasiga ta'sir qiluvchi omillardir.
Havo oqimini tashkil etishga ta'sir qiluvchi omillar
1. Havo ta'minoti usulining ta'siri
(1). Havo ta'minoti tezligi
Bir xil havo oqimini ta'minlash uchun bir tomonlama toza xonada havo ta'minoti tezligi bir xil bo'lishi kerak; havo ta'minoti yuzasining o'lik zonasi kichik bo'lishi kerak; va ULPAdagi bosim pasayishi ham bir xil bo'lishi kerak.
Bir xil havo ta'minoti tezligi: ya'ni havo oqimining notekisligi ±20% ichida boshqariladi.
Havo ta'minoti yuzasida kamroq o'lik zona: nafaqat ULPA ramkasining tekislik maydonini kamaytirish kerak, balki eng muhimi, ortiqcha ramkani soddalashtirish uchun modulli FFU qo'llanilishi kerak.
Vertikal bir tomonlama havo oqimini ta'minlash uchun filtrning bosim pasayishini tanlash ham juda muhim, bu filtrdagi bosim yo'qotilishi o'zgarmasligini talab qiladi.
(2). FFU tizimi va eksenel oqimli fan tizimini taqqoslash
FFU - bu ventilyator va filtrga (ULPA) ega havo ta'minoti bloki. FFUning markazdan qochma ventilyatori tomonidan havo so'rilgandan so'ng, dinamik bosim havo kanalidagi statik bosimga aylanadi va ULPA tomonidan teng ravishda puflanadi. Shiftdagi havo ta'minoti bosimi manfiy bosimdir, shuning uchun filtr almashtirilganda toza xonaga chang kirmaydi. Tajribalar shuni ko'rsatdiki, FFU tizimi havo chiqish bir xilligi, havo oqimi parallelligi va shamollatish samaradorligi indeksi jihatidan eksenel oqim ventilyatori tizimidan ustundir. Buning sababi, FFU tizimining havo oqimi parallelligi yaxshiroq. FFU tizimidan foydalanish toza xonadagi havo oqimini yaxshiroq tashkil qilishi mumkin.
(3). FFUning o'z tuzilishining ta'siri
FFU asosan ventilyatorlar, filtrlar, havo oqimini boshqarish moslamalari va boshqa komponentlardan iborat. Ultra yuqori samarali ULPA filtri toza xonaning kerakli dizayn tozaligiga erisha olishining eng muhim kafolatidir. Filtr materiali ham oqim maydonining bir xilligiga ta'sir qiladi. Filtr chiqish joyiga qo'pol filtr materiali yoki laminar oqim plitasi qo'shilganda, chiqish oqimi maydoni osongina bir xil bo'lishi mumkin.
2. Tozalikning turli tezlik interfeyslarining ta'siri
Xuddi shu toza xonada, vertikal bir tomonlama oqimning ish maydoni va ishlamaydigan maydoni o'rtasida, ULPA chiqish joyidagi havo tezligidagi farq tufayli, interfeysda aralash girdob effekti hosil bo'ladi va bu interfeys ayniqsa yuqori havo turbulentligi intensivligiga ega turbulent havo oqimi zonasiga aylanadi. Zarrachalar uskunaning yuzasiga o'tishi va uskuna va plastinalarni ifloslantirishi mumkin.
3. Xodimlar va uskunalarning ta'siri
Toza xona bo'sh bo'lganda, xonadagi havo oqimi xususiyatlari odatda dizayn talablariga javob beradi. Uskunalar toza xonaga kirgandan, xodimlar harakatlangandan va mahsulotlar uzatilgandan so'ng, havo oqimini tashkil qilishda muqarrar ravishda to'siqlar paydo bo'ladi. Masalan, uskunaning chiqib turgan burchaklarida yoki chekkalarida gaz turbulent zona hosil qilish uchun yo'naltiriladi va zonadagi suyuqlik gaz tomonidan osongina olib ketilmaydi, bu esa ifloslanishga olib keladi. Shu bilan birga, uskunaning yuzasi uzluksiz ishlash tufayli qiziydi va harorat gradiyenti mashina yaqinida qayta oqim zonasini hosil qiladi, bu esa qayta oqim zonasida zarrachalar to'planishini oshiradi. Shu bilan birga, yuqori harorat zarrachalarning osongina chiqib ketishiga olib keladi. Ikki tomonlama effekt umumiy vertikal laminar tozalikni nazorat qilishdagi qiyinchilikni kuchaytiradi. Toza xonadagi operatorlardan chiqadigan chang bu qayta oqim zonalaridagi plastinalarga juda oson yopishadi.
4. Qaytuvchi havo polining ta'siri
Poldan o'tadigan qaytib havoning qarshiligi har xil bo'lganda, bosim farqi hosil bo'ladi, natijada havo kamroq qarshilik yo'nalishi bo'yicha oqadi va bir xil havo oqimiga erishilmaydi. Hozirgi kunda mashhur dizayn usuli baland pollardan foydalanishdir. Yuqori pollarning ochilish tezligi 10% bo'lganda, xonaning ish balandligidagi havo oqimi tezligi teng taqsimlanishi mumkin. Bundan tashqari, polning ifloslanish manbasini kamaytirish uchun tozalash ishlariga qattiq e'tibor qaratish kerak.
5. Induksiya hodisasi
Induksiya hodisasi deb ataladigan narsa, bir xil oqimga teskari yo'nalishda havo oqimi hosil bo'lishi va xonada yoki qo'shni ifloslangan hududda hosil bo'lgan changning shamolga qarshi tomonga yo'naltirilishi, natijada chang chipni ifloslantirishi mumkin bo'lgan hodisani anglatadi. Quyidagi mumkin bo'lgan induksiya hodisalari:
(1). Ko'r plastinka
Vertikal bir tomonlama oqimga ega toza xonada, devordagi bo'g'inlar tufayli, odatda mahalliy qaytish oqimida turbulentlik hosil qiladigan katta ko'r plitalar mavjud.
(2). Yoritgichlar
Toza xonadagi yoritish moslamalari ko'proq ta'sir ko'rsatadi. Floresan lampalarning isishi havo oqimining ko'tarilishiga olib kelganligi sababli, floresan lampalar ostida turbulent joy bo'lmaydi. Odatda, toza xonadagi lampalar lampalarning havo oqimini tashkil etishga ta'sirini kamaytirish uchun tomchi shaklida ishlab chiqilgan.
(3.) Devorlar orasidagi bo'shliqlar
Tozalik darajasi har xil bo'lgan devorlar yoki devorlar va shiftlar orasida bo'shliqlar mavjud bo'lganda, tozalik talablari past bo'lgan hududdagi chang yuqori tozalik talablariga ega qo'shni hududga o'tkazilishi mumkin.
(4). Mashina va pol yoki devor orasidagi masofa
Agar mashina bilan pol yoki devor orasidagi bo'shliq juda kichik bo'lsa, bu teskari turbulentlikka olib keladi. Shuning uchun, uskuna bilan devor o'rtasida bo'sh joy qoldiring va mashinaning to'g'ridan-to'g'ri yerga tegib ketishiga yo'l qo'ymaslik uchun uni ko'taring.
Joylashtirilgan vaqt: 2025-yil 5-fevral