IC ishlab chiqarish sanoatida chip hosildorligi darajasi chipda saqlangan havo zarralari hajmi va soni bilan chambarchas bog'liq. Yaxshi xona oqimining tozaligini ta'minlash uchun yaxshi havo oqimini tozalash vositasi toza xonaning tozaligini olish uchun, ya'ni teshik oqimining tozaligi IC ishlab chiqarish qobiliyatining hosildorligida muhim rol o'ynaydi. Zararli zarralarni saqlashni oldini olish uchun havo oqimi tashkiloti dizayni quyidagi maqsadlarga erishishi kerak: zararli zarralarni saqlamaslik uchun oqim maydonidagi Eddy oqimini kamaytirish yoki yo'q qilish; Xoch ifloslanishiga yo'l qo'ymaslik uchun tegishli ijobiy bosimni saqlang.
Havo oqimi kuchlari
Toza xonaning printsipiga ko'ra, zarralarga harakat qiladigan kuchlar orasida ommaviy kuch, molekulyar kuch, zarrachalar, havo savarjlari va boshqalarni jalb qilish kiradi.
Hudonalar kuchlari: etkazib berish natijasida kelib chiqadigan havo oqimining kuchi, eksklyuziv, termal konvektsiya va boshqa havo oqimlari zarralarni ko'tarish uchun ma'lum oqim tezligi bilan. Xona atrofidagi toza muhit, havo oqishi kuchlari eng muhim omil hisoblanadi.
Eksperimentlar shuni ko'rsatdiki, havo oqimlari harakatida zarralar havo oqimlarining harakatlanishini deyarli bir xil tezlikda kuzatib boradi. Havodagi zarrachalar holati havo oqimi taqsimlanishi bilan belgilanadi. Yuqorida joylashtirilgan zarralarga ta'sir qiladigan havo oqimi asosan quyidagilarni o'z ichiga oladi: havo oqimi va ikkilamchi havo oqimi), havo oqimi va issiqlik sovrinlarini kesib o'tishi va jarayonlar amaliyotidan va sanoat uskunalari natijasida yuzaga kelgan havo oqimi. Har xil havo ta'minoti usullari, tezkor interfeyslar, operatorlar va sanoat uskunalari va toza xonalarda qo'zg'atilgan hodisalar tozalik darajasiga ta'sir qiladigan omillardir.
Hudonalar tashkiliy tashkiloti ta'siriga ta'sir etuvchi omillar
1. Havo ta'minoti usulining ta'siri
(1). Havo ta'minoti tezligi
Yagona havo oqimini ta'minlash uchun havo ta'minoti tezligi birlashtirilgan toza xonada bir xil bo'lishi kerak; havo ta'minoti yuzasining o'lik zonasi kichik bo'lishi kerak; Va Ulpa bosimi ham bir xil bo'lishi kerak.
Yagona havo ta'minoti tezligi: ya'ni havo oqimining notekisligi ± 20% ichida boshqariladi.
Havo ta'minoti sirtida kam o'lik zonalar: nafaqat Ulpa ramkasining tekis maydoni kamayishi kerak, ammo eng muhimi, ortiqcha ffonni soddalashtirish uchun qabul qilinishi kerak.
Vertikal o'zgaruvchan havo oqimini ta'minlash uchun filtrda bosimning yo'qolishi, shuningdek, filtrda bosimning yo'qolishi kerakligini talab qiladi.
(2). FFU tizimi va eksenel oqimining fan tizimini taqqoslash
FFU - bu fan va filtr bilan havo ta'minoti bo'limi (ULPA). FFUning markaziy bosimi emadiganidan so'ng, dinamik bosim havo kanalida statik bosimga aylantiriladi va Ulpa bilan bir tekis portlatadi. Shiftdagi havo ta'minoti bosimi salbiy bosimdir, shuning uchun filtr almashtirilganda toza xonaga tushmaydi. Tajribalar shuni ko'rsatdiki, FFU tizimi havodan chiqishning bir xilligi, havo oqimlari paralleleni va shamollatish samaradorligi indeksi bo'yicha eksenel oqimidan ustundir. Buning sababi, FFU tizimining havo oqimining paralleleni yaxshiroqdir. FFU tizimidan foydalanish toza xonada havo oqimini yaxshiroq tashkillashtirish mumkin.
(3). FFUning o'z tuzilishining ta'siri
FFU asosan muxlislar, filtrlar, havo oqimlari qo'llanmalari va boshqa tarkibiy qismlardan iborat. Ultra yuqori samaradorligi filtr Ulpa - bu toza xona dizaynning talab qilinadigan tozaligiga erishishi uchun eng muhim kafolatdir. Filtrning materiallari oqim maydonining bir xilligiga ham ta'sir qiladi. Kuchli filtr materiallari yoki filter oqim plitasi filtrlanga qo'shilsa, chiqish maydonchasi osongina formani osongina tayyorlash mumkin.
2. Turli tezlikdagi tozalik interfeyslarining ta'siri
Bir xil toza xonada, vertikal inqirozli oqim oralig'ida, Ulpa rozetkasida havo tezligi o'zgarishi tufayli aralashtirilgan vorteks effekti aralashuvda aralashtiriladi va bu interfeys notekis bo'ladi Havo oqimi zonasi ayniqsa yuqori havo g'oyat yuqori bo'lgan. Zarrachalar asbob-uskunalar yuzasiga yuqishi va jihozlarni va mishlarni ifloslantirishi mumkin.
3. Xodimlar va jihozlarning ta'siri
Toza xonani bo'shatganda, xonadagi havo oqim xususiyatlari odatda loyiha talablariga javob beradi. Uskunalar toza xonaga kirib, xodimlar harakati va mahsulotlari yuqtiriladi, muqarrar ravishda havo oqimining tashkiliy tashkiloti ta'siri bo'ladi. Masalan, jihozlarning chiqadigan burchaklari yoki chet elliklarida, gaz turbenton zonasini shakllantirishga yo'naltiriladi va zonadagi suyuqlik gaz bilan osongina olib tashlanmaydi, shu bilan ifloslanishni keltirib chiqaradi. Shu bilan birga, uskunaning yuzasi doimiy ishlashi sababli qizib ketadi va harorat gradienti mashinaning zonadagi zarralar to'planishini ko'paytiradigan avtoulov zonasiga olib keladi. Shu bilan birga, yuqori harorat zarrachalarni qochishga olib keladi. Ikki tomonlama effekt umumiy vertikal laminar tozalikni boshqarish qiyinligini kuchaytiradi. Toza xonadir bo'lgan operatorlardan chang bu oq rangdagi zonalardagi gulzorlarga rioya qilish juda oson.
4. Qaytish efirining ta'siri
Qaytish efirining poldan boshqacha bo'lsa, havo kamroq qarshilik ko'rsatishga olib keladi va bir xil havo oqimi olinmaydi. Hozirgi mashhur dizayn usuli yuqori qavatlardan foydalanishdir. Qalamlarning ochilishi 10% bo'lganida, xonaning ishlash balandligidagi havo oqimining tezligi bir tekis taqsimlanishi mumkin. Bundan tashqari, polning ifloslanish manbaini kamaytirish bo'yicha ishlarni tozalash uchun qat'iy e'tibor qaratish lozim.
5. Indüksiyon fenomenon
Induction fenomenonsi bir xil oqimning qarama-qarshi yo'nalishidagi havo oqimi hosil bo'ladi, xonada hosil bo'lgan chang ko'tarilgan changni ko'taradi chipni ifloslantirishi mumkin. Quyida keltirilgan induksion hodisalar mavjud:
(1). Ko'r plastinka
Vertikal antikultiv oqim bilan toza xonada, devordagi bo'g'inlar tufayli, mahalliy qaytish oqimida juda katta ko'rlik plitalar mavjud.
(2). Chiroqlar
Toza xonaning yoritgichlari katta ta'sirga ega bo'ladi. Florensent lampalarining issiqligi havo oqimi ko'tarilishiga olib keladi, buloqli lampalar ostida xiralashgan joy bo'lmaydi. Odatda, toza xonaning lampalari lampalarning havo oqimini tashkil etish tashkilotiga ta'sirini kamaytirish uchun ko'z yoshlar shaklida ishlab chiqilgan.
(3.) Devorlar orasidagi bo'shliqlar
Turli xil tozaliklar orasidagi bo'shliqlar bo'lganida, tozalik va shiftlar, o'simlikning pastligi talablari bo'lgan qismlar, pastroq talablar bilan changni yuqori tozalik talablari bilan o'tkazilishi mumkin.
(4). Mashina va pol orasidagi masofa
Agar mashina va pol yoki devorning orasidagi bo'shliq juda kichik bo'lsa, u tiklangan notinchlikni keltirib chiqaradi. Shuning uchun jihozni to'g'ridan-to'g'ri erga tegmaslikka yo'l qo'ymaslik uchun uskunaning va devor orasidagi bo'shliqni ko'taring.
O'tish vaqti: fevral 05-2025