IC ishlab chiqarish sanoatida chipning rentabelligi chipga joylashtirilgan havo zarralarining hajmi va soni bilan chambarchas bog'liq. Yaxshi havo oqimi tashkiloti toza xonaning tozaligini ta'minlash uchun chang manbai tomonidan hosil bo'lgan zarralarni toza xonadan uzoqlashtirishi mumkin, ya'ni toza xonadagi havo oqimini tashkil qilish IC ishlab chiqarishning rentabelligida muhim rol o'ynaydi. Toza xonada havo oqimini tashkil etishni loyihalash quyidagi maqsadlarga erishishi kerak: zararli zarralarni ushlab turmaslik uchun oqim maydonidagi girdab oqimini kamaytirish yoki yo'q qilish; o'zaro ifloslanishni oldini olish uchun tegishli ijobiy bosim gradientini saqlang.
Havo oqimi kuchi
Toza xona printsipiga ko'ra, zarrachalarga ta'sir qiluvchi kuchlar massa kuchi, molekulyar kuch, zarralar orasidagi tortishish, havo oqimi kuchi va boshqalarni o'z ichiga oladi.
Havo oqimi kuchi: etkazib berish, qaytib keladigan havo oqimi, termal konveksiya havo oqimi, sun'iy aralashtirish va zarrachalarni tashish uchun ma'lum bir oqim tezligi bilan boshqa havo oqimlari natijasida kelib chiqadigan havo oqimining kuchini anglatadi. Toza xona muhitini texnik nazorat qilish uchun havo oqimi kuchi eng muhim omil hisoblanadi.
Tajribalar shuni ko'rsatdiki, havo oqimi harakatida zarrachalar havo oqimi harakatini deyarli bir xil tezlikda kuzatib boradi. Havodagi zarrachalarning holati havo oqimining taqsimlanishi bilan belgilanadi. Ichki zarrachalarga ta'sir qiluvchi havo oqimlari asosan quyidagilardan iborat: havo bilan ta'minlovchi havo oqimi (shu jumladan birlamchi havo oqimi va ikkilamchi havo oqimi), havo oqimi va odamlarning yurishi natijasida kelib chiqadigan termal konveksiya havo oqimi, jarayonning ishlashi va sanoat uskunalari natijasida yuzaga keladigan havo oqimi. Turli xil havo etkazib berish usullari, tezlik interfeyslari, operatorlar va sanoat uskunalari va toza xonalarda yuzaga keladigan hodisalar tozalik darajasiga ta'sir qiluvchi omillardir.
Havo oqimining tashkil etilishiga ta'sir qiluvchi omillar
1. Havo ta'minoti usulining ta'siri
(1). Havo ta'minoti tezligi
Bir xil havo oqimini ta'minlash uchun havo etkazib berish tezligi bir tomonlama toza xonada bir xil bo'lishi kerak; havo ta'minoti yuzasining o'lik zonasi kichik bo'lishi kerak; va ULPAdagi bosimning pasayishi ham bir xil bo'lishi kerak.
Yagona havo etkazib berish tezligi: ya'ni havo oqimining notekisligi ± 20% ichida nazorat qilinadi.
Havo ta'minoti yuzasida kamroq o'lik zona: nafaqat ULPA ramkasining tekislik maydonini qisqartirish kerak, balki undan ham muhimi, ortiqcha ramkani soddalashtirish uchun modulli FFUni qabul qilish kerak.
Vertikal bir yo'nalishli havo oqimini ta'minlash uchun filtrning bosim tushishini tanlash ham juda muhim, bu filtrdagi bosimning yo'qolishi og'ishmasligini talab qiladi.
(2). FFU tizimi va eksenel oqim fan tizimi o'rtasidagi taqqoslash
FFU - bu fan va filtrli (ULPA) havo ta'minoti birligi. FFU markazdan qochma fan tomonidan havo so'rilganidan so'ng, dinamik bosim havo kanalida statik bosimga aylanadi va ULPA tomonidan teng ravishda puflanadi. Shiftdagi havo ta'minoti bosimi salbiy bosimdir, shuning uchun filtr almashtirilganda toza xonaga chang oqmaydi. Tajribalar shuni ko'rsatdiki, FFU tizimi havo chiqishi bir xilligi, havo oqimining parallelligi va ventilyatsiya samaradorligi indeksi bo'yicha eksenel oqim fan tizimidan ustundir. Buning sababi, FFU tizimining havo oqimining parallelligi yaxshiroq. FFU tizimidan foydalanish toza xonadagi havo oqimini yaxshiroq tashkil qilishi mumkin.
(3). FFUning o'z tuzilishining ta'siri
FFU asosan fanatlar, filtrlar, havo oqimini boshqarish moslamalari va boshqa komponentlardan iborat. Ultra yuqori samarali filtr ULPA toza xona dizaynning kerakli tozaligiga erisha oladimi yoki yo'qmi, eng muhim kafolatdir. Filtrning materiali oqim maydonining bir xilligiga ham ta'sir qiladi. Filtrning chiqishiga qo'pol filtr materiali yoki laminar oqim plitasi qo'shilsa, chiqish oqimi maydoni osongina bir xil bo'lishi mumkin.
2. Tozalikning turli tezlikli interfeyslarining ta'siri
Xuddi shu toza xonada, vertikal bir yo'nalishli oqimning ish joyi va ishlamaydigan maydoni o'rtasida, ULPA chiqishidagi havo tezligidagi farq tufayli, interfeysda aralash vorteks effekti hosil bo'ladi va bu interfeys ayniqsa yuqori havo turbulentligi intensivligi bilan turbulent havo oqimi zonasiga aylanadi. Zarrachalar uskunaning yuzasiga uzatilishi va jihoz va gofretlarni ifloslantirishi mumkin.
3. Xodimlar va jihozlarning ta'siri
Toza xona bo'sh bo'lsa, xonadagi havo oqimining xususiyatlari odatda dizayn talablariga javob beradi. Uskunalar toza xonaga kirgandan so'ng, xodimlarning harakatlanishi va mahsulotlar uzatilishi, havo oqimini tashkil qilishda muqarrar ravishda to'siqlar paydo bo'ladi. Masalan, uskunaning chiqib turgan burchaklarida yoki chetlarida gaz turbulent zona hosil qilish uchun yo'naltiriladi va zonadagi suyuqlik gaz tomonidan osonlikcha olib ketilmaydi, shuning uchun ifloslanishni keltirib chiqaradi. Shu bilan birga, uzluksiz ishlash tufayli uskunaning yuzasi qizib ketadi va harorat gradienti mashina yaqinida qayta oqim zonasini keltirib chiqaradi, bu esa qayta oqim zonasida zarrachalarning to'planishini oshiradi. Shu bilan birga, yuqori harorat zarrachalarning osongina chiqib ketishiga olib keladi. Ikki tomonlama ta'sir umumiy vertikal laminar tozalikni nazorat qilish qiyinligini kuchaytiradi. Toza xonadagi operatorlardan chang, bu qayta oqim zonalarida gofretlarga yopishib olish juda oson.
4. Qaytish havosi qavatining ta'siri
Zamindan o'tadigan qaytib havoning qarshiligi boshqacha bo'lsa, bosim farqi hosil bo'ladi, shuning uchun havo kamroq qarshilik yo'nalishi bo'yicha oqadi va bir xil havo oqimi olinmaydi. Hozirgi mashhur dizayn usuli - baland qavatlardan foydalanish. Ko'tarilgan qavatlarning ochilish tezligi 10% bo'lsa, xonaning ish balandligidagi havo oqimi tezligi teng ravishda taqsimlanishi mumkin. Bundan tashqari, zaminning ifloslanish manbasini kamaytirish uchun tozalash ishlariga qat'iy e'tibor qaratish lozim.
5. Induksiya hodisasi
Induksion hodisa deb ataladigan hodisa, bir xil oqimning teskari yo'nalishidagi havo oqimi hosil bo'lishi va xonada hosil bo'lgan chang yoki qo'shni ifloslangan hududdagi chang shamolga qarshi tomonga induktsiya qilinadi, shunda chang chipni ifloslantirishi mumkin. Quyidagilar mumkin bo'lgan induksiya hodisalari:
(1). Ko'r plastinka
Vertikal bir tomonlama oqimga ega bo'lgan toza xonada, devordagi bo'g'inlar tufayli, odatda, mahalliy qaytib oqimda turbulentlikni keltirib chiqaradigan katta ko'r plitalar mavjud.
(2). Yoritgichlar
Toza xonadagi yorug'lik moslamalari ko'proq ta'sir qiladi. Floresan lampalarning issiqligi havo oqimining ko'tarilishiga olib kelganligi sababli, lyuminestsent lampalar ostida turbulent maydon bo'lmaydi. Odatda, toza xonadagi lampalar havo oqimini tashkil qilishda lampalarning ta'sirini kamaytirish uchun ko'z yoshi shaklida ishlab chiqilgan.
(3.) Devorlar orasidagi bo'shliqlar
Turli xil tozalik darajalariga ega bo'laklar yoki bo'linmalar va shiftlar o'rtasida bo'shliqlar mavjud bo'lganda, past tozalik talablari bo'lgan hududdagi chang yuqori tozalik talablari bo'lgan qo'shni hududga o'tkazilishi mumkin.
(4). Mashina va zamin yoki devor orasidagi masofa
Mashina va zamin yoki devor orasidagi bo'shliq juda kichik bo'lsa, bu rebound turbulentligini keltirib chiqaradi. Shuning uchun, uskuna va devor o'rtasida bo'sh joy qoldiring va mashinaning erga to'g'ridan-to'g'ri tegmasligi uchun mashinani ko'taring.
Yuborilgan vaqt: 2025-05-fevral