1. Dizayn xususiyatlari
Chip mahsulotlarining funksionalizatsiyasi, miniatyuralashi, integratsiyasi va aniqligi talablari tufayli, ishlab chiqarish va ishlab chiqarish uchun chip toza xonasining dizayn talablari umumiy fabrikalarnikidan sezilarli darajada farq qiladi.
(1) Tozalik talablari: Chip ishlab chiqarish muhiti havo zarralari sonini yuqori darajada nazorat qilish talablariga ega;
(2) Havo o'tkazuvchanligi talablari: Havo oqishi yoki ifloslanishining ta'sirini minimallashtirish uchun strukturaviy bo'shliqlarni kamaytirish va bo'shliq konstruksiyalarining havo o'tkazuvchanligini kuchaytirish;
(3) Zavod tizimi talablari: Maxsus quvvat va elektromexanik tizimlar maxsus gazlar, kimyoviy moddalar, toza oqava suvlar va boshqalar kabi texnologik mashinalarning ehtiyojlarini qondiradi;
(4) Mikro-tebranishlarga qarshi talablar: Chipni qayta ishlash yuqori aniqlikni talab qiladi va tebranishning uskunaga ta'sirini kamaytirish kerak;
(5) Joy talablari: Zavod rejasi oddiy, aniq funktsional bo'linmalar, yashirin quvurlar va oqilona joy taqsimoti bilan ishlab chiqarish jarayonlari va uskunalarini yangilashda moslashuvchanlikni ta'minlaydi.
2. Qurilishga yo'naltirilganlik
(1). Qurilish davrini qisqartirish. Mur qonuniga ko'ra, chip integratsiyasi zichligi o'rtacha har 18-24 oyda ikki baravar ortadi. Elektron mahsulotlarning yangilanishi va iteratsiyasi bilan ishlab chiqarish zavodlariga bo'lgan talab ham yangilanadi. Elektron mahsulotlarning tez yangilanishi tufayli elektron toza zavodlarning haqiqiy xizmat muddati atigi 10-15 yilni tashkil qiladi.
(2). Yuqori resurslarni tashkil etish talablari. Elektron toza xona odatda qurilish hajmi, qurilishning tor davri, jarayonlarning chambarchas bog'liqligi, resurslarning qiyin aylanishi va asosiy materiallarning ko'proq konsentratsiyalangan iste'moli jihatidan katta. Bunday tor resurslarni tashkil etish umumiy reja boshqaruviga yuqori bosim va resurslarni tashkil etishning yuqori talablariga olib keladi. Poydevor va asosiy bosqichda bu asosan mehnat, po'lat panjaralar, beton, ramka materiallari, ko'tarish mashinalari va boshqalarda aks etadi; elektromexanik, bezatish va uskunalarni o'rnatish bosqichida bu asosan qurilish mashinalari uchun turli xil quvurlar va yordamchi materiallar, maxsus uskunalar va boshqalarda aks etadi.
(3). Yuqori qurilish sifati talablari asosan tekislik, havo o'tkazmasligi va changning kam bo'lishi kabi uch jihatda aks etadi. Aniq uskunalarni atrof-muhitga zarar yetkazishdan, tashqi tebranishlardan va atrof-muhit rezonansidan himoya qilishdan tashqari, uskunaning o'zining barqarorligi ham bir xil darajada muhimdir. Shuning uchun polning tekislik talabi 2 mm/2 m ni tashkil qiladi. Havo o'tkazmasligini ta'minlash turli toza joylar orasidagi bosim farqlarini saqlashda va shu bilan ifloslanish manbalarini nazorat qilishda muhim rol o'ynaydi. Havo filtrlash va konditsionerlash uskunalarini o'rnatishdan oldin toza xonani tozalashni qat'iy nazorat qiling va qurilishga tayyorgarlik ko'rish va o'rnatishdan keyin qurilish paytida changga moyil bo'lgan bo'g'inlarni nazorat qiling.
(4) Subpudrat boshqaruvi va muvofiqlashtirishga yuqori talablar. Elektron toza xonani qurish jarayoni murakkab, yuqori darajada ixtisoslashgan, ko'plab maxsus subpudratchilarni o'z ichiga oladi va turli sohalar o'rtasida keng ko'lamli o'zaro faoliyatga ega. Shuning uchun har bir sohaning jarayonlari va ish yuzalarini muvofiqlashtirish, o'zaro faoliyatni kamaytirish, sohalar o'rtasida interfeyslarni topshirishning haqiqiy ehtiyojlarini tushunish va bosh pudratchini muvofiqlashtirish va boshqarishda yaxshi ish qilish kerak.
Joylashtirilgan vaqt: 2025-yil 22-sentabr