1. Dizayn xususiyatlari
Chip mahsulotlarini funksionallashtirish, miniatyuralashtirish, integratsiya qilish va aniqlik talablari tufayli ishlab chiqarish va ishlab chiqarish uchun chip toza xonasining dizayn talablari umumiy zavodlardan sezilarli darajada farq qiladi.
(1) Tozalik talablari: Chip ishlab chiqarish muhiti havo zarralari soni uchun yuqori nazorat talablariga ega;
(2) Havo o'tkazmasligiga qo'yiladigan talablar: havo oqish yoki ifloslanish ta'sirini minimallashtirish uchun strukturaviy bo'shliqlarni kamaytirish va bo'shliq tuzilmalarining havo o'tkazmasligini kuchaytirish;
(3) Zavod tizimi talablari: Maxsus quvvat va elektromexanik tizimlar maxsus gazlar, kimyoviy moddalar, toza oqava suvlar va boshqalar kabi texnologik mashinalarning ehtiyojlarini qondiradi;
(4) Mikro-vibratsiyaga qarshi talablar: Chipni qayta ishlash yuqori aniqlikni talab qiladi va tebranishning uskunaga ta'sirini kamaytirish kerak;
(5) Bo'sh joy talablari: Zavod rejasi oddiy, aniq funktsional bo'linmalar, yashirin quvurlar va oqilona joy taqsimoti bilan ishlab chiqarish jarayonlari va uskunalarini yangilashda moslashuvchanlikni ta'minlaydi.
2. Qurilish markazi
(1). Qattiq qurilish davri. Mur qonuniga ko'ra, chiplarning integratsiya zichligi har 18-24 oyda o'rtacha ikki barobar ortadi. Elektron mahsulotlarning yangilanishi va iteratsiyasi bilan ishlab chiqarish korxonalariga talab ham yangilanadi. Elektron mahsulotlarning tez yangilanishi tufayli elektron toza zavodlarning haqiqiy xizmat qilish muddati faqat 10 dan 15 yilgacha.
(2). Resurslarni tashkil etishning yuqori talablari. Elektron toza xona odatda qurilish hajmi, qattiq qurilish muddati, bir-biri bilan chambarchas bog'liq jarayonlar, qiyin resurs aylanishi va ko'proq konsentrlangan asosiy material iste'moli bo'yicha katta. Resurslarning bunday qattiq tashkil etilishi umumiy rejani boshqarish va yuqori resurslarni tashkil etish talablari bo'yicha yuqori bosimga olib keladi. Poydevor va asosiy bosqichda u asosan mehnat, po'lat barlar, beton, ramka materiallari, yuk ko'tarish mashinalari va boshqalarda aks etadi; Elektromexanik, pardozlash va jihozlarni o'rnatish bosqichida, asosan, uchastka talablari, qurilish texnikasi uchun turli quvurlar va yordamchi materiallar, maxsus jihozlar va boshqalarda aks etadi.
(3). Qurilish sifatining yuqori talablari asosan tekislik, havo o'tkazmasligi va past chang konstruktsiyasining uch jihatida aks etadi. Nozik uskunani atrof-muhitning shikastlanishi, tashqi tebranishlar va atrof-muhit rezonansidan himoya qilishdan tashqari, uskunaning barqarorligi ham bir xil darajada muhimdir. Shuning uchun, zaminning tekisligi talabi 2 mm / 2 m. Havo o'tkazmasligini ta'minlash turli xil toza hududlar orasidagi bosim farqlarini saqlashda va shu bilan ifloslanish manbalarini nazorat qilishda muhim rol o'ynaydi. Havo filtrlash va konditsioner uskunalarini o'rnatishdan oldin toza xonani tozalashni qat'iy nazorat qiling va o'rnatishdan keyin qurilishni tayyorlash va qurish jarayonida changga moyil bo'lgan aloqalarni nazorat qiling.
(4) Subpudratni boshqarish va muvofiqlashtirish uchun yuqori talablar. Elektron toza xonani qurish jarayoni murakkab, yuqori ixtisoslashgan, ko'plab maxsus subpudratchilarni o'z ichiga oladi va turli fanlar o'rtasida keng ko'lamli o'zaro faoliyatga ega. Shu sababli, har bir fanning jarayonlari va ish joylarini muvofiqlashtirish, o'zaro faoliyatni kamaytirish, fanlar o'rtasida interfeyslarni topshirishning haqiqiy ehtiyojlarini tushunish va bosh pudratchini muvofiqlashtirish va boshqarishda yaxshi ish qilish kerak.
Yuborilgan vaqt: 22-sentyabr-2025