Zarrachalarni qat'iy nazorat qilishdan tashqari, chip ishlab chiqarish ustaxonalari, integral mikrosxemalar changsiz ustaxonalari va disk ishlab chiqarish ustaxonalari tomonidan taqdim etilgan elektron toza xonada harorat va namlikni nazorat qilish, yoritish va mikro-shok uchun qattiqroq talablar mavjud. Atrof-muhit toza muhitda elektron mahsulotlarning ishlab chiqarish jarayoni talablariga javob berishi uchun statik elektrning ishlab chiqarish mahsulotlariga ta'sirini qat'iy ravishda olib tashlang.
Elektron toza xonaning harorati va namligi ishlab chiqarish jarayoni talablariga muvofiq aniqlanishi kerak. Ishlab chiqarish jarayoni uchun maxsus talablar bo'lmaganda, harorat 20-26 ° S va nisbiy namlik 30% -70% bo'lishi mumkin. Xodimlarning toza xonasi va yashash xonasining harorati 16-28 ℃ bo'lishi mumkin. Xalqaro ISO standartlariga mos keladigan GB-50073 Xitoy milliy standartiga ko'ra, ushbu turdagi toza xonaning tozalik darajasi 1-9 gacha. Ularning orasida 1-5 sinf, havo oqimi sxemasi bir tomonlama oqim yoki aralash oqimdir; 6-sinf havo oqimi sxemasi bir tomonlama bo'lmagan oqim va havo almashinuvi 50-60 marta / soat; 7-sinf havo oqimi turi bir tomonlama bo'lmagan oqimdir va havo almashinuvi 15-25 marta / soat; 8-9 sinf havo oqimi turi bir tomonlama bo'lmagan oqimdir, havo almashinuvi 10-15 marta / soat.
Joriy texnik shartlarga ko'ra, 10000 elektron toza xonadagi shovqin darajasi 65 dB (A) dan oshmasligi kerak.
1. Elektron toza xonada vertikal oqim toza xonaning to'liq nisbati 60% dan kam bo'lmasligi kerak va gorizontal bir tomonlama oqim toza xona 40% dan kam bo'lmasligi kerak, aks holda u qisman bir tomonlama oqim bo'ladi.
2. Elektron toza xona va tashqi havo o'rtasidagi statik bosim farqi 10Pa dan kam bo'lmasligi kerak va toza joylar va toza bo'lmagan joylar o'rtasidagi statik bosim farqi 5Pa dan kam bo'lmasligi kerak.
3. 10000 sinf elektron toza xonada toza havo miqdori quyidagi ikkita elementning qiymatini olishi kerak.
4. Bino ichidagi musbat bosim qiymatini saqlab turish uchun zarur bo'lgan ichki chiqindi havo hajmi va toza havo hajmining yig'indisini kompensatsiya qiling.
5. Bir kishi boshiga soatiga toza xonaga etkazib beriladigan toza havo miqdori 40 kvadrat metrdan kam bo'lmasligini ta'minlash.
Xabar vaqti: 2024 yil 8 aprel