Zarrachalarni qat'iy nazorat qilishdan tashqari, chip ishlab chiqarish ustaxonalari, integral mikrosxemalar changsiz ustaxonalari va disk ishlab chiqarish ustaxonalari bilan ifodalangan elektron toza xonada harorat va namlikni nazorat qilish, yoritish va mikroshokka nisbatan qat'iy talablar mavjud. Statik elektr energiyasining ishlab chiqarish mahsulotlariga ta'sirini qat'iy ravishda yo'q qiling, shunda atrof-muhit toza muhitda elektron mahsulotlarning ishlab chiqarish jarayoni talablariga javob berishi mumkin.
Elektron toza xonaning harorati va namligi ishlab chiqarish jarayoni talablariga muvofiq belgilanishi kerak. Ishlab chiqarish jarayoni uchun maxsus talablar bo'lmaganda, harorat 20-26°C va nisbiy namlik 30%-70% bo'lishi mumkin. Xodimlar toza xonasi va yashash xonasining harorati 16-28℃ bo'lishi mumkin. Xalqaro ISO standartlariga mos keladigan Xitoy milliy GB-50073 standartiga ko'ra, ushbu turdagi toza xonaning tozalik darajasi 1-9 ni tashkil qiladi. Ular orasida 1-5 sinflar uchun havo oqimi shakli bir yo'nalishli yoki aralash oqimdir; 6-sinf havo oqimi shakli bir yo'nalishli bo'lmagan oqimdir va havo almashinuvi soatiga 50-60 marta; 7-sinf havo oqimi turi bir yo'nalishli bo'lmagan oqimdir va havo almashinuvi soatiga 15-25 marta; 8-9 sinf havo oqimi turi bir yo'nalishli bo'lmagan oqimdir, havo almashinuvi soatiga 10-15 marta.
Amaldagi texnik shartlarga ko'ra, 10,000-sinf elektron toza xonasidagi shovqin darajasi 65 dB (A) dan oshmasligi kerak.
1. Elektron toza xonada vertikal oqimli toza xonaning to'liq nisbati 60% dan kam bo'lmasligi kerak, gorizontal bir tomonlama oqimli toza xona esa 40% dan kam bo'lmasligi kerak, aks holda bu qisman bir tomonlama oqim bo'ladi.
2. Elektron toza xona va ochiq havoda statik bosim farqi 10Pa dan kam bo'lmasligi kerak, toza joylar va har xil havo tozaligiga ega bo'lgan toza bo'lmagan joylar orasidagi statik bosim farqi esa 5Pa dan kam bo'lmasligi kerak.
3. 10000-sinf elektron toza xonasidagi toza havo miqdori quyidagi ikkita elementning qiymatini olishi kerak.
4. Ichki musbat bosim qiymatini saqlab turish uchun zarur bo'lgan ichki chiqindi havo hajmi va toza havo hajmining yig'indisini qoplang.
5. Toza xonaga soatiga bir kishiga beriladigan toza havo miqdori 40 kvadrat metrdan kam bo'lmasligiga ishonch hosil qiling.
Joylashtirilgan vaqt: 2024-yil 8-aprel