Elektron toza xona asosan yarimo'tkazgich, suyuq kristall displey, elektron plata va boshqalarda qo'llaniladi. Umuman olganda, u toza ishlab chiqarish maydoni, toza yordamchi maydon, ma'muriy hudud va uskunalar maydonini o'z ichiga oladi. Elektron toza xonaning toza darajasi elektron mahsulot sifatiga bevosita ta'sir qiladi. Odatda har bir hudud o'ziga xos havo tozaligiga erishish va yopiq muhitda doimiy harorat va nisbiy namlikni saqlab turish uchun tegishli pozitsiyada turli xil filtrlash va tozalash orqali havo ta'minoti tizimi va FFU dan foydalaning.
Misol tariqasida bizning elektron toza xonamizdan birini olaylik. (Xitoy, 8000m2, ISO 5)